Die KI-Revolution hängt von einem deutschen Unternehmen aus Schwaben ab: Carl Zeiss SMT. Die Firma besitzt das Geheimnis, wie sich immer kleinere und leistungsstärkere Mikrochips herstellen lassen – mit extrem ultraviolettem (EUV) Licht. Dieses „Zauberlicht“ ist der Schlüssel zur Fertigung der leistungsfähigsten Halbleiter der Welt.
Monopolstellung in der Chipindustrie
Carl Zeiss SMT ist der einzige Hersteller von EUV-Beleuchtungssystemen, die in den Lithographieanlagen des niederländischen Konzerns ASML eingesetzt werden. ASML wiederum hat ein Monopol auf die Produktion der hochmodernen EUV-Maschinen, die für die Fertigung von Chips mit Strukturen unter 7 Nanometern benötigt werden. Ohne die Zeiss-Optik wäre die Herstellung dieser Chips unmöglich.
„Die EUV-Technologie ist ein Wunderwerk der Ingenieurskunst“, sagt ein Branchenexperte. „Sie ermöglicht es, Milliarden von Transistoren auf einem winzigen Chip unterzubringen – die Grundlage für künstliche Intelligenz, Cloud-Computing und moderne Elektronik.“
Wie das EUV-Licht funktioniert
Das EUV-Licht wird durch extrem kurze Wellenlängen von 13,5 Nanometern erzeugt. Es entsteht, wenn winzige Zinntröpfchen mit einem Hochleistungslaser beschossen werden, die zu Plasma verdampfen und dabei EUV-Strahlung abgeben. Diese Strahlung wird durch hochpräzise Spiegel aus Spezialglas gelenkt, die von Zeiss gefertigt werden. Die Spiegel müssen so glatt sein, dass ihre Unebenheiten weniger als ein Atomdurchmesser betragen.
Die Entwicklung dieser Spiegel dauerte über ein Jahrzehnt und erforderte bahnbrechende Fortschritte in der Materialwissenschaft und Fertigungstechnik. „Ohne die Arbeit von Zeiss wäre die EUV-Lithographie nicht realisierbar gewesen“, so der Experte weiter.
Wirtschaftliche Bedeutung
Die Abhängigkeit der globalen Chipindustrie von Zeiss ist enorm. Schätzungen zufolge basieren etwa 90 Prozent der weltweit produzierten High-End-Chips auf EUV-Technologie. Das Unternehmen mit Sitz in Oberkochen (Baden-Württemberg) beschäftigt mehrere tausend Mitarbeiter und erzielt mit seinen EUV-Systemen Milliardenumsätze.
Die Nachfrage steigt rasant: Im Jahr 2025 lieferte ASML 42 EUV-Maschinen aus, für 2026 werden über 60 erwartet. Jede Maschine kostet rund 150 Millionen Euro. Zeiss profitiert direkt von dieser Entwicklung, da es als einziger Zulieferer der Beleuchtungssysteme agiert.
Zukunftsperspektiven
Die nächste Generation der EUV-Technologie – High-NA-EUV – ist bereits in der Entwicklung. Sie soll Strukturen von bis zu 2 Nanometern ermöglichen und damit die Leistungsfähigkeit von Chips weiter steigern. Auch hier ist Zeiss als Partner von ASML maßgeblich beteiligt.
„Die deutsche Ingenieurskunst bleibt unverzichtbar für die digitale Transformation“, betont ein Sprecher von Zeiss. „Unsere Technologie treibt die KI-Revolution voran und sichert Europas Wettbewerbsfähigkeit.“
